TY  CONF
TI  Исследование влияния технологических режимов создания “field-stop” слоя на характеристики SPT-IGBT
KW  SPT-IGBT. field-stop слой
KW  потери при включении и выключении
KW  лазерный отжиг
KW  MLA
KW  высокоэнергетическое легирование
KW  Sentaurus TCAD
JO  Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых учёных «МИКРОЭЛЕКТРОНИКА и ИНФОРМАТИКА-2025», с международным участием
AU  Абрашин, П.С.
AU  Красюков, А.Ю.
PY  2026
PB  Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"